JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B
期刊ISSN：
1071-1023
E-ISSN：
-
影响因子：
登录后查看数据
自引率：
7.8%
SCI期刊JCR分区
SCI期刊JCR分区等级：4区
按学科分区
PHYSICS, APPLIED
Q4
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
Q4
NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
Q4
最新中科院SCI期刊分区（基础版）
大类学科
工程技术
4区
小类学科
工程：电子与电气
4区
纳米科技
4区
物理：应用
4区
Top期刊
否
综述期刊
否
最新中科院SCI期刊分区（升级版）
大类学科
工程技术
4区
小类学科
工程：电子与电气
4区
纳米科技
4区
物理：应用
4区
Top期刊
否
综述期刊
否
期刊简介
Journal of Vacuum Science & Technology B emphasizes processing, measurement and phenomena associated with micrometer and nanometer structures and devices. Processing may include vacuum processing, plasma processing and microlithography among others, while measurement refers to a wide range of materials and device characterization methods for understanding the physics and chemistry of submicron and nanometer structures and devices.
出版信息
出版商
A V S AMER INST PHYSICS
涉及的研究方向
工程技术-工程：电子与电气
刊期
Bimonthly
年文章数
149
出版国家或地区
UNITED STATES
是否OA
否
Cite Score相关
| Cite Score | SJR | SNIP | 排名 |
|---|---|---|---|
| - | - | - |
-
|
SCI期刊投稿推荐
JCR分区相关期刊
中科院分区相关期刊
· International Journal of Chemistry and Materials Science
立即投稿
· Journal of Psychology & Human Behavior （JPHB）
立即投稿
· Journal of Linguistics & Cultural Studies
立即投稿
· International Journal of Law, Ethics and Social Sciences
立即投稿
· ENVIRONMENTAL SCIENCE AND POLLUTION RESEARCH
立即投稿
· International Journal of Engineering and Innovation
立即投稿
· International Journal of Education, Humanities and Social Sciences
立即投稿
· Design Insights
立即投稿
· Acta Chirurgiae Orthopaedicae et Traumatologiae Cechoslovaca
· Infants & Young Children
· Journal of Transportation Safety & Security
· NURSING SCIENCE QUARTERLY
· JOURNAL OF NERVOUS AND MENTAL DISEASE
· Stochastics-An International Journal of Probability and Stochastic Processes
· DEUTSCHE LEBENSMITTEL-RUNDSCHAU
· NEUROLOGY INDIA
· ACTA PHYSICA SINICA
· Journal of Geometric Mechanics
· International Journal of Optics
· Medicina Oral Patologia Oral y Cirugia Bucal
· JOURNAL OF APPLIED BOTANY AND FOOD QUALITY
· ANASTHESIOLOGIE INTENSIVMEDIZIN NOTFALLMEDIZIN SCHMERZTHERAPIE
· SEMIGROUP FORUM
· Journal of the Australian Ceramic Society
· Current Vascular Pharmacology
· Historical Studies in the Natural Sciences
· Romanian Journal of Morphology and Embryology
· BRAIN AND COGNITION
分享
去登录