IEEE TRANSACTIONS ON SEMICONDUCTOR MANUFACTURING

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期刊简介

The IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing addresses the challenging problems of manufacturing complex microelectronic components, especially very large scale integrated circuits (VLSI). Manufacturing these products requires precision micropatterning, precise control of materials properties, ultraclean work environments, and complex interactions of chemical, physical, electrical and mechanical processes.

出版信息

出版商

Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.

期刊官网

http://ieeexplore.ieee.org/xpl/RecentIssue.jsp

涉及的研究方向

工程技术-工程：电子与电气

刊期

Quarterly

年文章数

出版国家或地区

UNITED STATES

是否OA

否

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5.8	1.318	1.429	学科大类学科：Engineering 小类学科：Industrial and Manufacturing Engineering 分区 Q1 学科大类学科：Engineering 小类学科：Condensed Matter Physics 分区 Q1 学科大类学科：Engineering 小类学科：Electrical and Electronic Engineering 分区 Q1 学科大类学科：Engineering 小类学科：Electronic, Optical and Magnetic Materials 分区 Q1