IEEE TRANSACTIONS ON SEMICONDUCTOR MANUFACTURING
期刊ISSN：
0894-6507
E-ISSN：
1558-2345
影响因子：
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自引率：
16.4%
SCI期刊JCR分区
SCI期刊JCR分区等级：2区
按学科分区
PHYSICS, APPLIED
Q2
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
Q2
PHYSICS, CONDENSED MATTER
Q3
ENGINEERING, MANUFACTURING
Q3
最新中科院SCI期刊分区（基础版）
大类学科
工程技术
4区
小类学科
工程：电子与电气
4区
工程：制造
4区
物理：应用
4区
物理：凝聚态物理
4区
Top期刊
否
综述期刊
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工程：电子与电气
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工程：制造
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物理：应用
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期刊简介
The IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing addresses the challenging problems of manufacturing complex microelectronic components, especially very large scale integrated circuits (VLSI). Manufacturing these products requires precision micropatterning, precise control of materials properties, ultraclean work environments, and complex interactions of chemical, physical, electrical and mechanical processes.
出版信息
出版商
Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.
涉及的研究方向
工程技术-工程：电子与电气
刊期
Quarterly
年文章数
63
出版国家或地区
UNITED STATES
是否OA
否
Cite Score相关
| Cite Score | SJR | SNIP | 排名 |
|---|---|---|---|
| 5.8 | 1.318 | 1.429 |
学科
大类学科：Engineering
小类学科：Industrial and Manufacturing Engineering
分区
Q1
学科
大类学科：Engineering
小类学科：Condensed Matter Physics
分区
Q1
学科
大类学科：Engineering
小类学科：Electrical and Electronic Engineering
分区
Q1
学科
大类学科：Engineering
小类学科：Electronic, Optical and Magnetic Materials
分区
Q1
|
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