所属院校:

北京理工大学

所属院系:

机械与车辆学院

研究领域:

超快激光加工；化学机械抛光；摩擦腐蚀；微纳制造研究项目 1.国家自然科学基金青年项目，集成电路亚14nm节点FinFET的化学机械抛光基础研究，2018/01-2020/12，25万元，项目负责人 2.博士后科学基金面上项目，稀土元素掺杂氧化铈磨粒在FinFET化学机械抛光中的应用，2017/11-2019/09，5万元，项目负责人 3.博士后科学基金特别资助，柔性纳米磨粒的制备及在集成电路化学机械抛光中的应用，2018/06-2019/09，15万元，项目负责人

职称:

教授

导师类型:

硕导

招生专业:

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