1982年7月、1985年7月毕业于吉林大学电子科学系半导体物理专业,分别获得理学学士学位和理学硕士学位,2001年6月毕业于北京航空航天大学,获得材料学博士学位。1985年7月至2001年9月在北京航空航天大学应用物理系任教,历任助教、讲师、副教授。1999年至2000年在丹麦技术大学微米纳米技术系任访问学者。2001年10月至2003年8月在北京大学微纳电子学研究院从事博士后研究,出站后进入北京大学微纳电子学研究院任副教授,2008年被聘任为北京大学微电子学研究院教授。