1986年和1988年分别获得清华大学电子工程系学士和硕士学位;1992年获得中科院半导体所物理学博士学位。1994-1996于德国马普学会的弗里兹-哈伯研究所(Fritz-Haber-Institut der Max-Planck-Gesellschaft) 完成博士后工作,又先后在日本广岛大学 (日本科学技术振兴事业团研究员)和美国缅因大学从事科学研究工作。2000-2014年,在美国朗讯科技和英特尔公司从事技术研究和产品开发工作。 2014年入选苏州工业园区金鸡湖双百人才(国际型学科领军人才)。现任中科院苏州纳米所研究员、博士生导师,纳米真空互联实验站副总指挥。在国际期刊(Appl.Phys.Lett., Phys Review, JVST, Appl.Phys., Surf. Sci. 等)上发表论文三十多篇。