个人简介

尹路，男，博士，讲师，硕士生导师。2017年在武汉理工大学获得材料科学与工程专业博士学位，师从中国工程院张联盟院士。目前主要的研究方向为氧化铪基铁电薄膜的制备及性能表征、导电氧化物薄膜的生长及铁电集成性研究。 科研项目 1.高性能铁电存储器制备装备与工艺匹配关键技术研究，湖南省科技厅重点研发项目，主持。 2.过渡金属掺杂HfO2基多层铁电薄膜的制备及其电学性能，湖南省自然科学基金青年项目，主持。 3.HfO2基新型铁电薄膜的磁控溅射制备与复合掺杂，湘潭大学科研启动经费项目，主持