所属院校:

武汉大学

所属院系:

物理科学与技术学院

研究领域:

1.加速器-电镜联机（1）离子注入制备22nm集成电路超浅结；（2）离子束分析（RBS/C,MEIS）；2.等离子体气相沉积（1）等离子体增强PVD沉积技术；（2）超硬涂层技术：TiAlN,CrN,Ti-Si-N,CrSiN,DLC,TiAlCrN,TiAlSiN,TiAlCrSiN,TiBN，PVD涂层刀具、微钻、微铣、PVD活塞环、精密模具、纺织钢领。3.磁光谱学（1）Mossbauer谱，铁基超导、铁酸铋、铁基拓扑绝缘体；（2）内转换电子穆斯堡尔谱（CEMS），薄膜样品...

职称:

教授

导师类型:

博导

招生专业:

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