所属院校:

台湾清华大学

所属院系:

工学院

研究领域:

MEMS(MicroelectromechanicalSystems);NEMS(NanoelectromechanicalSystems); NanowiresandNanotubes;designandmanufacturingofmicrosensorsandmicroactuators; developmentofmicromachiningprocessesbysiliconsurface/bulkmicromachining;micromol

职称:

教授

导师类型:

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招生专业:

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