所属院校:

中国科学院微电子研究所

所属院系:

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研究领域:

纳米加工与新器件集成技术，微纳光学元件，先进光刻技术科研项目 （1）新型衍射光学元件研制,主持,国家级,2009-07--2014-06 （2）复杂氧化物的微纳加工及基于复杂电子体系独特物性的新型器件研究,主持,国家级,2012-01--2016-08 （3）软X射线/极紫外单级衍射光栅加工制作技术工艺流程研发,参与,国家级,2012-10--2016-09 （4）基于脉冲反向函数的电化学沉积大高宽比金纳米结构研究,主持,国家级,2018-01--2021-12 （5）X射线...

职称:

研究员

导师类型:

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招生专业:

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