个人简介

教育背景 1989年毕业于清华大学物理系，获理学（光学）博士学位 1986年毕业于东南大学电子工程系，获工学硕士学位 1983年毕业于东南大学电子工程系，获工学学士学位 工作简历 2011.04–至今：中国科学院微电子研究所副总工、研究员、博士生导师，国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”总体组特聘专家。 2009.05–2011.03：荷兰皇家飞利浦照明研发中心(中国)总监。 2000.01–2009.05：荷兰ASML光刻机公司研发经理、高级工程师。 1999.02–1999.12：荷兰国家原子分子研究所（AMOLF）研究员。 1998.02–1999.01：荷兰代尔夫特（Delft）技术大学研究员。 1990.01–1998.01：北京交通大学教授，系主任等。