个人简介

教育背景 1992.9－1996.7：天津大学电子工程系半导体器件与物理专业，获工学学士学位； 1996.9－1999.7：中国科学院微电子研究所，微电子学与固体电子学专业，获工学硕士学位； 2000.3－2003.3：中国科学院微电子研究所，微电子学与固体电子学专业，获工学博士学位； 工作简历 1997.9－2003.3：中国科学院微电子研究所硅器件与集成技术研究室（一室），任研究助理，从事新型硅基CMOS器件与深亚微米集成电路技术研究 2003.7－2010.7：韩国三星电子（集团）综合技术院半导体研究室，任高级研究员，从事高性能多晶硅与新型氧化物薄膜晶体管的研究，负责过两个项目的研究 2010.8至今：中国科学院微电子研究所先导工艺研发中心（十室），任研究员，入选科学院“百人计划”，从事纳米CMOS器件、集成电路先进工艺技术、纳米材料器件、硅基辐射传感器等方向研究 2015.10至今：中国科学院微电子器件和集成技术重点实验室副主任 2017.4至今：中国科学院微电子研究所先导工艺研发中心（十室）副主任，（1）22-14纳米集成电路器件工艺先导技术,二等奖,国家级,2017（排名第4） （2）22纳米集成电路核心工艺技术及应用,一等奖,省级,2016（排名第10） （3）极大规模集成电路关键技术研究集体,一等奖,院级,2014（排名第10）