所属院校:

中国科学院微电子研究所

所属院系:

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研究领域:

先进的纳米光刻技术研究（包括深紫外激光直写、电子束光刻、X射线光刻、193nm光学光刻等）；纳米尺度深紫外、X射线衍射光学元件的设计、制造、检测及应用研究，近年来主持研究成功十多种5000线/mm、10000线/mm衍射光学元件并获得成功应用

职称:

研究员

导师类型:

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招生专业:

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