所属院校:

中国科学院微电子研究所

所属院系:

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研究领域:

高k栅介质/金属栅技术科研项目 （1）双金属栅CMOS器件的可靠性退化机制及其抑制方法研究,参与,国家级,2014-01--2016-12 （2）离子掺杂高k栅介质/金属栅技术研究及理论分析,主持,市地级,2015-09--2016-08 （3）碳基纳米电子器件与集成,参与,国家级,2016-07--2021-06 （4）高迁移率二维料铟硒及其异质结构的物性、量子输运性质调控和器件应用研究,参与,国家级,2018-01--2021-12 （5）FINFET器件研究及制备,主持...

职称:

副研究员

导师类型:

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招生专业:

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