个人简介

教育背景 1997-2001山东大学通信与信息系统理学学士 2002-2007中国科学院微电子研究所微电子学与固体电子学工学博士 工作简历 2007.07至今，在中国科学院微电子研究所工作，现为研究员、博士生导师、微电子仪器设备研发中心主任，中科院青联委员，北京市生产力促进中心特聘责任专家。 1.2007年~2009年，中国科学院微电子研究所微电子设备技术研究室工作，任新原理装备课题组组长、助理研究员 2.2009年~2011年，任微电子设备技术研究室主任助理、副研究员 3.2011年起，任微电子设备技术研究室副主任、副研究员 4.2014年起，任微电子设备技术研究室副主任、研究员 5.2015年起，任微电子仪器设备研发中心副主任、研究员，中科院青联委员 6.2017年起，任微电子仪器设备研发中心主任、研究员，博士生导师，中科院青联委员获奖及荣誉： 1.原子层沉积系统的开发与应用，中国电子学会技术发明一等奖，2017年 2.离子体浸没离子注入机开发与应用，北京市科学技术奖三等奖，2014年 3.原子层沉积系统级工艺，全国发明展览会一等奖，2011年 4.高亮度LED图形化衬底刻蚀系统及工艺，全国发明展览会三等奖，2011年 5.首都科技条件平台中科院研发试验服务基地测试基金一等奖，2009年 6.中国科学院青年创新促进会首批优秀会员，2015年 7.中国科学院青年创新促进会首批会员，2011年 8.中国科学院微电子研究所特别表现奖，2008年 9.中国科学院优秀毕业生，2007年