所属院校:

中国科学院微电子研究所

所属院系:

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研究领域:

长期从事微纳材料、结构、及相关设备的研究工作。曾研制开发了Q值接近2.5万的射频MEMS点阻滤波器；作为02专项子课题“原子层薄膜沉积系统”课题执行组长，开发了国内首套8英寸ALD样机及相应的全套薄膜沉积工艺；并于此开展开放型合作，实现了专利成果转让、企业新产品开发及销售；作为国家重大科研仪器研制项目的首席设计师，开发亚10纳米结构原位制备、实时分析研究的大型UHV多系统集成装备，为下一代高性能器件研究提供技术支撑。已在相关领域国际期刊会议发表文章10余篇，授权发明专利20余项

职称:

副研究员

导师类型:

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招生专业:

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