副研究员
解婧
  • 所属院校:
    中国科学院微电子研究所
  • 所属院系:
    --
  • 研究领域:
    长期从事微纳材料、结构、及相关设备的研究工作。曾研制开发了Q值接近2.5万的射频MEMS点阻滤波器;作为02专项子课题“原子层薄膜沉积系统”课题执行组长,开发了国内首套8英寸ALD样机及相应的全套薄膜沉积工艺;并于此开展开放型合作,实现了专利成果转让、企业新产品开发及销售;作为国家重大科研仪器研制项目的首席设计师,开发亚10纳米结构原位制备、实时分析研究的大型UHV多系统集成装备,为下一代高性能器件研究提供技术支撑。已在相关领域国际期刊会议发表文章10余篇,授权发明专利20余项
  • 职称:
    副研究员
  • 导师类型:
    --
  • 招生专业:
    --
个人简介

个人简介

教育背景 2002.9-2006.7:清华大学,电子工程,学士 2006.9-2011.7:中国科学院半导体研究所,微电子学与固体电子学,博士 工作简历 2011.7-2014.12,中国科学院微电子研究所,助理研究员 2014.12-至今,中国科学院微电子研究所,副研究员 2015.9-至今,中国科学院大学,岗位教授

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