研究员
景玉鹏
  • 所属院校:
    中国科学院微电子研究所
  • 所属院系:
    --
  • 研究领域:
    二氧化碳超临界流体半导体绿色无水清洗技术；RF-MEMS；MEMS气敏传感器科研项目 （1）二氧化碳超临界流体清洗技术,主持,国家级,2009-01--2012-12 （2）863重大项目,参与,国家级,2007-01--2011-12 （3）旋转喷淋湿法工艺刻蚀,主持,国家级,2009-01--2012-12 （4）基于电磁波辅助的10纳米节点CMOS无粘连无倒伏显影技术研究,参与,国家级,2015-01--2018-12 （5）多源微波低温退火技术,主持,部委级,2014...
  • 职称:
    研究员
  • 导师类型:
    --
  • 招生专业:
    --
个人简介

个人简介

2009年2月，制作完成一台内径350毫米的二氧化碳超临界流体工艺平台，该平台能进行清洗，HPCVD，高速无等离子体刻蚀和硅片三维加工和纳米管内部镀膜技术,是一台多功能创新型技术设备。 参加国家863重大专项，危化品检测与跟踪网络化系统集成及产业化应用技术。传感器电学参数测试子课题负责人。参与863国家重大专项（01、02），32nm以下设备关键技术研究及创新设备技术探索，二氧化碳超临界流体半导体清洗技术负责人

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