个人简介

教育背景 1979.9-1983.6：西安交通大学半导体物理与器件,本科毕业，获学士学位。 1985.9-1988.6：西安交通大学半导体物理与器件,研究生毕业，获硕士学位。 工作简历 1997.4-今：中国科学院微电子中心（现改为中国科学院微电子研究所）从事集成电路工艺技术、电路设计、研究生管理及研究室管理工作，曾任高级工程师，光刻工艺负责人，研究室副主任兼任测试工艺负责人，硅工程中心产品部主任，项目/课题负责人，硅器件与集成技术研究室主任，所副总工程师、所第三届学术委员会主任。现任所总工程师、学术委员会副主任、学位委员会副主席、二级研究员、中国科学院大学教授、博士生导师、硅器件与集成技术研发中心总设计师。国家特殊津贴获得者。 北京电力电子学会理事，中国科学院硅器件技术重点实验室学术委员会委员，中国科学院大学微电子学院教学委员会委员。 1999.6-2000.6：香港科技大学,访问学者。 1994.4-1997.3：北京精确微电子研究所，从事集成电路设计工作，任技术负责人。 1993.9-1994.3：北京盈发科技公司，从事集成电路设计工作，任集成电路部副经理。 1988.6-1993.8：北京燕东微电子联合公司，从事集成电路工艺技术、新产品开发及生产线管理，曾任工程师,车间主任，主任工程师。 1983.7-1985.8：电子工业部878厂，从事集成电路工艺技术工作，扩散班长获奖及荣誉： “亚30纳米CMOS器件相关的若干关键工艺技术研究”获2005年国家技术发明二等奖; “高性能栅长27纳米CMOS器件及关键工艺技术研究”获2004年北京市科学技术一等奖; “0.18/0.1微米CMOS集成电路关键技术研究”获2004年北京市科学技术二等奖。 2009年获国防科学技术进步二等奖。 2016年获中国科学院“朱李月华优秀教师奖”