研究员
陈大鹏
-
所属院校:中国科学院微电子研究所
-
所属院系:--
-
研究领域:微细加工技术专利成果 （1）红外热电堆温度传感器机器自测试、自诊断、容错的方法,2017,第4作者,专利号:201711103364.2 科研项目 （1）智能交通创新服务系统,主持,部委级,2012-01--2016-12 （2）中科院-北大率先合作团队,主持,部委级,2015-01--2020-12 （3）中青年科技创新领军人才-陈大鹏,主持,国家级,2015-01--2017-12 （4）MEMS典型产品技术与设计服务平台,主持,国家级,2011-01--2016-12
-
职称:研究员
-
导师类型:--
-
招生专业:--
个人简介
个人简介
承担科研项目情况： (1)“九五”国家重点科技攻关项目97－762“0.1-0.35微米集成电路关键技术研究”的子专题97－762－03“先进的深亚微米工艺技术”； (2)科学院重大创新方向性项目“电子束缩小投影光刻机（SCALPEL）”的子课题“投影电子束掩模研制”； (3)科技部863项目“多传感器及阵列传感器集成”； (4)科技部863项目“无掩模光刻系统”； (5)科技部863项目； (6)自然基金仪器专项“新型光学读出非制冷红外成像系统”； (7)自然基金“悬臂梁微尖端阵列器件加工及应用技术研究”； (8)中科院知识创新方向性项目。 获奖及荣誉： 2003年“0.1-0.35微米集成电路关键技术研究”获北京市科技进步一等奖
去登录