所属院校:

中国科学院上海光学精密机械研究所

所属院系:

信息光学与光电技术实验室（信光）

研究领域:

专利成果 （1）六轴4细分干涉仪（国外）,发明,2011,第1作者,专利号:国际申请号PCT/CN2011/001272 （2）四轴4细分干涉仪(国外),发明,2011,第2作者,专利号:国际申请号PCT/CN2011/001273 （3）硅片表面缺陷的激光扫描散射检测与分类系统,发明,2009,第2作者,专利号:200910247382.7 （4）具有缺陷分类能力的硅片表面缺陷检测仪及缺陷分类方法,发明,2009,第1作者,专利号:200910196169.8 （5）六轴4...

职称:

副研究员

导师类型:

硕导

招生专业:

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