副研究员
蔡燕民
  • 所属院校:
    中国科学院上海光学精密机械研究所
  • 所属院系:
    信息光学与光电技术实验室(信光)
  • 研究领域:
    专利成果 (1)测量光学系统参数的测量装置及其测量方法,发明,2010,第2作者,专利号:CN200810033379.0 (2)傅里叶变换物镜,发明,2013,第1作者,专利号:CN201310259300.7 (3)光刻机照明系统偏振测量用光学系统,发明,2013,第1作者,专利号:CN201310301241.5 (4)共轭距可变的光刻投影物镜、光刻方法,发明,2014,第1作者,专利号:CN201310422537.2 (5)产生一束线偏振光的沃拉斯顿棱镜,发明,20...
  • 职称:
    副研究员
  • 导师类型:
    硕导
  • 招生专业:
    --
个人简介

个人简介

招生专业 080300-光学工程 招生方向 光学工程(光学设计与光学工艺) 教育背景 1999-04--2002-04中科院上海光学精密机械研究所博士 1996-09--1999-03长春光学精密机械学院硕士 1990-09--1994-06长春光学精密机械学院学士 工作简历 2011-11~现在,中科院上海光学精密机械研究所,副研究员 2010-06~2011-10,芯硕半导体有限公司研发中心,项目兼部门经理 2004-04~2010-05,上海微电子装备有限公司,高级工程师 2002-05~2004-03,中科院上海微系统研究所,助理研究员 1994-07~1996-08,东北机器制造总厂,助理工程师 奖励信息 (1)上海市浦东新区政府浦东新区专利工作优秀个人奖,,省级,2010 (2)上海微电子装备公司(国家光刻设备研发中心)专利成就奖,,研究所(学校),2010

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