教授
奚斌
  • 所属院校:
    中山大学
  • 所属院系:
    材料科学与工程学院
  • 研究领域:
    原子层沉积(AtomicLayerDeposition)和原子层刻蚀(AtomicLayerEtching)的前驱体、工艺及应用(半导体集成电路等)
  • 职称:
    教授
  • 导师类型:
    --
  • 招生专业:
    --
个人简介

个人简介

2017 - 中山大学材料科学与工程学院 教授,博导 2013 - 2017 美国 默克高性能材料 (EMD Performance Materials) Senior Scientist 2009 - 2013 美国 哈佛大学 博士后 2005 - 2009 美国 普渡大学 博士 1999 - 2003 南开大学 本科

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