1985年浙江大学材料系本科毕业,1991年浙江大学材料系(硅材料国家重点实验室)获半导体材料工学博士,1993年浙江大学博士后流动站出站,并晋升副教授,其间在日本东北大学金属材料研究所访问工作。 1995年初赴德国FREIBERG工业大学工作,1997年5月被浙江大学特批晋升教授,1998年初回国在材料(系)学院半导体材料研究所(硅材料国家重点实验室)工作。2002年获国家杰出青年基金。2017年入选中国科学院院士