个人简介

车录锋，男，1971年5月生，河南省内黄县人，教授、博士生导师。微系统研究所副所长、微系统技术国家级重点实验室学术委员会委员、中国微米纳米学会微纳米制造及装备分会理事、《光学精密工程》期刊编委。1999年10月在浙江大学获博士学位，1999年11月至2001年11月中国科学院上海微系统与信息技术研究所 电子科学与技术流动站博士后。2005年美国加州大学伯克利分校 传感器与执行器中心(BSAC)高级访问学者，2006年1月-2016年4月中国科学院上海微系统与信息技术研究所 传感技术国家重点实验室研究员、博士生导师、微系统技术国家级重点实验室副主任。主要从事MEMS传感器相关技术研究。针对我国新一代石油勘探装备的应用需求，通过敏感结构和加工工艺等关键技术创新，研制出高性能MEMS振动传感器及系统，动态范围达到120dB，主要性能指标与美国ION公司、法国Sercel公司产品相当，打破了国际垄断，为新型“全数字地震数据采集系统”重大装备的研发提供了重要支撑；研制的抗单粒子闩锁加速度传感器模块作为关键载荷，已提供给我国系列微纳卫星应用；研制的MEMS陀螺芯片照片刊登在国际著名MEMS杂志JMM封面上，引起了国际同行的高度关注。做为负责人在研或完成国家科技重大专项课题3项、科技部863课题5项、国家自然科学基金课题5项, 获上海市技术发明二等奖一项。