所属院校:

中国科学院长春光机所

所属院系:

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研究领域:

主要从事极紫外光刻光学技术领域研究工作，负责主持开展了面向国家战略发展需求的极紫外光刻关键技术研究，攻克了超高精度非球面加工与检测、极紫外多层膜、超高精度光学系统集成等极紫外光刻技术发展中亟待解决的关键问题，初步建成适应于极紫外光刻曝光光学系统研制的技术平台

职称:

研究员

导师类型:

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招生专业:

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