研究员
熊斌
  • 所属院校:
    中国科学院上海微系统与信息技术研究所
  • 所属院系:
    --
  • 研究领域:
    科研项目 (1)静电推挽驱动-电磁感应检测谐振式微型磁传感器,主持,国家级,2016-01--2019-12 专利成果 (1)微机械磁传感器及其应用,2015,第1作者,专利号:201510051986.X (2)一种电磁式振动传感器及其制作方法,2015,第1作者,专利号:201510791836.2 (3)基于局域共振体的声子晶体结构及其制作方法,2015,第1作者,专利号:201510778969.6 (4)微机械硅谐振器的温度补偿结构及制作方法,2015,第1作者,专...
  • 职称:
    研究员
  • 导师类型:
    博导
  • 招生专业:
    --
个人简介

个人简介

男、博士、研究员、博士导师;1984年7月在东南大学获学士学位后到冶金所工作;在所里工作期间分别攻读了硕士学位及博士学位;先后被聘为副研究员、研究员;1999年973项目《集成微光机电系统研究》立项后,担任《微米尺度运动机械动力学相关问题研究》的课题负责人。参与完成的主要国家研究项目:《硅键合技术》、《硅表面微机械加工技术》(八五攻关项目);《微电子机械技术基础研究》(国家重点自然科学基金项目)《力平衡加速度传感器》(攀登计划B项目)主持完成的国家研究项目:《微悬桥流量传感器》(八五攻关项目)目前负责的研究项目:《微米尺度运动机械动力学相关问题研究》国家重点基础研究发展规划项目;《微系统关键共性技术》中科院知识创新工程重大项目。获得成果:在微机械陀螺、加速度传感器和红外热堆传感器的研究中,发表论文二十三篇,其中九篇为第一作者。申请发明专利七项,获得实用新型专利授权一项,其中三项为第一申请人,三项中的一项在第13届全国发明展获银奖。

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