所属院校:

中国科学院上海微系统与信息技术研究所

所属院系:

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研究领域:

主要从事新型相变材料开发，相变材料工程化，相变材料的ALD工艺开发和相变材料刻蚀等工艺研究。科研项目 （1）钛锑碲相变材料的相变机理与微缩特性研究,主持,国家级,2014-01--2017-12 （2）半导体存储器制备与测试平台,参与,省级,2013-12--2015-11 （3）钛锑碲相变材料的相变机理与尺寸效应研究,主持,省级,2013-07--2014-06 （4）高密度交叉阵列结构的新型存储器件与集成,参与,国家级,2017-07--2022-06 （5）高密度阻变存...

职称:

研究员

导师类型:

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招生专业:

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