研究员
刘卫丽
  • 所属院校:
    中国科学院上海微系统与信息技术研究所
  • 所属院系:
    --
  • 研究领域:
    主要研究方向为纳米材料和器件、电子级纳米磨料和抛光液。科研项目 (1)电子级纳米磨料产业化研究及其在IC抛光液中的应用,主持,国家级,2009-01--2011-12 (2)45-28nm集成电路用纳米磨料和相变材料抛光液的研究与产业化,主持,国家级,2011-01--2013-12 (3)面向LED蓝宝石衬底的抛光液与抛光工艺示范线,主持,省级,2011-12--2014-09 (4)上海市优秀技术带头人,主持,省级,2014-07--2017-06 (5)纳米电子材料产学...
  • 职称:
    研究员
  • 导师类型:
    博导
  • 招生专业:
    --
个人简介

个人简介

刘卫丽研究员博士生导师。2002年在中科院上海微系统与信息技术研究所获得博士学位。承担了国家重大专项、国家863、国家自然科学基金、上海市重点攻关等国家和地方的重要项目。在硅基半导体材料、新型纳米材料的制备、表面改性和应用方面具有丰富的经验,研究的二氧化硅纳米抛光液成功实现了产业化应用。近年来先后发表SCI论文一百多篇,申请发明专利45项,其中授权20项。先后获得国家科技进步一等奖、上海市科技进步一等奖、中科院杰出科技成就奖、全国五一巾帼标兵、上海市优秀技术带头人、上海市青年科技启明星跟踪、上海市巾帼创新提名奖暨上海市三八红旗手标兵等奖项和荣誉称号。现兼任中国机械工程学会摩擦学会微纳制造摩擦学专业委员会第一届常务理事、全国纳米技术标准化委员会微纳加工工作组副秘书长。

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