个人简介

1986年毕业于西安工业学院，光学仪器专业。1989年考入北京工业大学精密仪器专业攻读硕士，开展“同步辐射光刻束线物理性能评定的研究”。1995年攻读高能物理所在职博士，开展“同步辐射LIGA技术研究”工作，2000年获得理学博士学位。2001年获得了英国皇家学会王宽成奖学金，在英国帝国理工学院从事了一年的纳米岛光刻技术的研究工作。 1986-1989年，在北京华北光学仪器厂从事光学加工工艺工作。1990-1992年，在高能物理研究所从事同步辐射X射线光刻束线的性能研究。自1992年起从事MEMS和基于X射线光刻的LIGA技术研究与应用，在高能所开创了LIGA技术、MEMS技术。2004年起开展了纳米岛光刻技术的研究和应用工作，开创了国内的纳米岛光刻技术研究与应用，完成了纳米岛光刻的工艺开发和在光电池等器件上的应用。 目前研究领域和主要成绩： 自1992年开始从事同步辐射X光光刻工作，先后参加和完成了中科院的LIGA技术研究项目，国家攀登计划，863项目，自然基金仪器重大项目，科学院先导专项等。在纳米岛光刻技术研究中二次获得了国家自然科学基金的项目支持，开展了纳米岛光刻技术及太阳能电池上的应用研究。在这些领域有着丰富的研究经验和研究成果，完成了微型气体质谱仪电极结构、小型雾化器阵列孔结构、Gabor波带片、费涅尔波带片、正电子慢化器、微流路生物芯片、微过滤器、射线遮光膜等微器件，以及自行设计完成了微电机、微夹钳、纳米岛结构光电池等多种微结构产品，有些微结构器件已投入了实际的应用。