个人简介

简历：  2003年毕业于清华大学电子系微电子专业，2006年毕业于中国科学院电子学研究所物理电子学专业，并留所工作至今，期间主要从事谐振式微传感器真空封装技术及关键工艺研究，作为工艺线负责人，主要负责MEMS微加工平台的日常运行管理和MEMS工艺研究