个人简介

招生专业 080903-微电子学与固体电子学 085209-集成电路工程 085208-电子与通信工程 招生方向 集成电路先导工艺技术 新原理装备技术 新型太阳能电池 教育背景 1995-09--1998-07北京科技大学材料物理系博士学位 1987-09--1990-07北京科技大学材料物理系硕士学位 1979-09--1983-07北京大学物理系学士学位 工作简历 1998-07~现在,中国科学院微电子研究所,仪器设备中心主任 1990-07~1995-09,北京航空材料研究院,工程师 1983-09~1987-07,江西师范大学,任教 教授课程 半导体工艺与制造技术 集成电路制造工艺与设备 微电子技术系列讲座 奖励信息 （1）朱李月华优秀教师奖,院级,2017 （2）北京市科学进步奖,三等奖,市地级,2017 （3）中国电子学会科技奖,一等奖,市地级,2017 （4）中国科学院教育教学成果奖,特等奖,部委级,2016 （5）27nmCMOS器件,一等奖,市地级,2008