副研究员
李世光
  • 所属院校:
    中国科学院大学
  • 所属院系:
    微电子学院
  • 研究领域:
    科研项目 （1）浸没光刻机系统需求与技术指标分析和评估,参与,国家级,2012-01--2014-12 （2）投影曝光检测系统关键部件分析与试验研究,参与,国家级,2013-01--2016-12 （3）EUVL技术体系与研发方案研究,参与,国家级,2012-01--2016-12 参与会议 （1）Measuringsofttissueelasticitybymonitoringsurfaceacousticwavesusingimageplanedigitalhologra...
  • 职称:
    副研究员
  • 导师类型:
    硕导
  • 招生专业:
    --
个人简介

个人简介

招生专业 080903-微电子学与固体电子学 085209-集成电路工程 085208-电子与通信工程 招生方向 集成电路先导工艺技术 新原理装备技术 教育背景 2000-09--2005-07清华大学工学博士 1993-09--1996-03哈尔滨工业大学工学硕士 1989-09--1993-07哈尔滨工业大学工学学士 工作简历 2011-10~现在,中国科学院微电子研究所,副研究员 2010-03~2011-05,theUniversityofNorthCarolina,USA,Postdoctor 2005-12~2009-11,Singapore-MITAlliance,Singapore,ResearchFellow 1996-04~1998-01,北京空间机电研究所,助理工程师

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