个人简介

招生方向 电子束技术及应用，精密机械 微纳加工与检测 教育背景 1998-09--2012-01 南京航空航天大学 博士 1995-09--1998-07 福州大学 硕士 1991-09--1995-07 福州大学 学士 工作经历 2018-01~, 中国科学院电工研究所, 研究员 2004-04~2017.12, 中国科学院电工研究所, 副研究员 2002-04~2004-04,中国科学院电工研究所, 博士后 工作简历 2018-01~现在, 中国科学院电工研究所, 研究员 2004-04~2017-12,中国科学院电工研究所, 副研究员 2002-04~2004-04,中国科学院电工研究所, 博士后 发表著作 （1） 微纳加工中的精密工件台技术, Technology of precision stage for micro-nano fabrication, 北京工业大学出版社, 2004-12, 第 1 作者 科研活动 （ 1 ） X射线微焦源研发, 技术负责, 国家级, 2012-01--2014-12；已结题 （ 2 ） 基于SEM的彩色Nano-CT系统研制, 负责, 部委级, 2015-01--2016-12；已结题 （ 3 ） 高功率密度微焦点射线源, 主持, 国家级, 2017-07--2021-06 （ 4 ） 固体绝缘材料表面介电参数综合测试系统, 参与, 部委级, 2018-01--2019-12 （ 5 ） 微纳加工技术及装备研究团队, 主持, 部委级, 2017-05--2019-05 （ 6 ） 电子束/X射线共性关键技术研发团队, 参与, 部委级, 2017-05--2019-05 科研项目 （ 1 ） X射线微焦源研发, 参与, 国家级, 2012-01--2014-12 （ 2 ） 基于SEM的彩色Nano-CT系统研制, 主持, 部委级, 2015-01--2016-12 （ 3 ） 高功率密度微焦点射线源, 主持, 国家级, 2017-07--2021-06 （ 4 ） 固体绝缘材料表面介电参数综合测试系统, 参与, 部委级, 2018-01--2019-12 （ 5 ） 微纳加工技术及装备研究团队, 主持, 部委级, 2017-05--2019-05 （ 6 ） 电子束/X射线共性关键技术研发团队, 参与, 部委级, 2017-05--2019-05