个人简介

招生方向 光学薄膜 极紫外光学 教育背景 1995-04--1999-03 东北大学（日本） 博士 1984-09--1987-08 中科院长春光机所 硕士 1980-09--1984-08 南开大学 学士 工作简历 1999-04--2011-07 中科院长春光机所 研究员 1994-04--1995-03 日本东北大学科学计测研究所 客员研究员 1987-09--1994-03 中科院长春光机所 研究实习员，助理研究员 奖励信息 （1） 国家角度基准的研制，二等奖，国家级，1991 （2） 国家角度基准的研制，一等奖，部委级，1990 科研项目 （1） 极紫外光刻关键技术研究，参与，国家级，2010-04--2013-04