个人简介

招生方向 高端光刻机像质检测技术 光学精密测量技术 波前传感技术 教育背景 2008-09--2013-05 中国科学院上海光学精密机械研究所 博士 2004-09--2008-06 西安电子科技大学 学士 工作简历 2015-08~2017-06,中国科学院上海光学精密机械研究所, 副研究员 2013-07~2015-08,中国科学院上海光学精密机械研究所, 助理研究员 专利成果 （ 1 ） Multi field points wavefront aberration parallel measurement setup and method for lithography projection optics, 发明, 2015, 第 1 作者, 专利号: US No.14984577 （ 2 ） Digital phase shfting lateral shearing interferometer and wavefront aberration metrology method for optial system, 发明, 2015, 第 1 作者, 专利号: PCT/ CN 2015/080419 （ 3 ） Digital phase shifting point diffraction interferometer and wavefront aberration metrology method for optical system, 发明, 2015, 第 1 作者, 专利号: PCT/CN 2015/080420 （ 4 ） 数字相移横向剪切干涉仪及光学系统波像差测量方法, 发明, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201510216017.5 （ 5 ） 数字相移点衍射干涉仪及光学系统波像差测量方法, 发明, 2015, 第 1 作者, 专利号: 201510256096.2 （ 6 ） 一种高精度、高空间分辨率的横向剪切干涉波前测量方法, 发明, 2015, 第 1 作者, 专利号: 201510435697.X （ 7 ） 光刻机投影物镜多视场点波像差并行检测装置与检测方法, 发明, 2015, 第 1 作者, 专利号: 201510757427.0 （ 8 ） 施瓦茨光学系统波像差测量方法, 发明, 2014, 第 1 作者, 专利号: ZL201410455642.0 （ 9 ） 一种基于横向剪切干涉结构的成像系统像差测量方法, 发明, 2012, 第 1 作者, 专利号: ZL201210337416.3 （ 10 ） 一种基于横向剪切干涉结构的成像系统像差测量方法, 发明, 2012, 第 1 作者, 专利号: ZL201210337416.3 （ 11 ） 一种基于横向剪切干涉结构的成像系统像差测量方法, 发明, 2012, 第 1 作者, 专利号: ZL201210337416.3 （ 12 ） 一种基于横向剪切干涉结构的光学元件面形测量方法, 发明, 2012, 第 1 作者, 专利号: ZL201210356681.6 （ 13 ） 一种基于粒子群优化算法的晶圆曝光路径优化方法, 发明, 2017, 第 2 作者, 专利号: 201710229617.4 （ 14 ） 一种大尺寸二维平面光栅栅距检测方法, 发明, 2016, 第 2 作者, 专利号: 201610675861.9 （ 15 ） 区域法重建遮拦波前的改进重建方法, 发明, 2015, 第 4 作者, 专利号: 201510191587.3 （ 16 ） 区域法重建遮拦波前的改进重建方法, 发明, 2015, 第 4 作者, 专利号: 201510191587.3 （ 17 ） 波前传感器及波前测量方法, 发明, 2015, 第 4 作者, 专利号: 201510398987.1 （ 18 ） 光栅剪切波像差检测干涉仪及其检测方法, 发明, 2014, 第 4 作者, 专利号: ZL201410406641 （ 19 ） 光栅剪切干涉仪波像差检测的系统误差的消除方法, 发明, 2013, 第 5 作者, 专利号: ZL201310646820.3 （ 20 ） 平面光学元件面形检测方法, 发明, 2012, 第 4 作者, 专利号: ZL201210289617.0 发表著作 （1） 剪切干涉术及其进展, 科学出版社, 2017-04, 第 3 作者 科研项目 （ 1 ） 光栅剪切干涉Zernike模式法重建精度优化方法研究, 主持, 国家级, 2015-01--2017-12 （ 2 ） 光栅剪切干涉区域法重建精度优化方法研究, 主持, 省级, 2014-07--2017-06