学生
戴凤钊
  • 所属院校:
    中国科学院大学
  • 所属院系:
    光电学院
  • 研究领域:
    光学精密检测 集成电路装备 高端光刻机像质检测
  • 职称:
    学生
  • 导师类型:
    硕导
  • 招生专业:
    --
个人简介

个人简介

招生方向 高端光刻机像质检测技术 光学精密测量技术 波前传感技术 教育背景 2008-09--2013-05 中国科学院上海光学精密机械研究所 博士 2004-09--2008-06 西安电子科技大学 学士 工作简历 2015-08~2017-06,中国科学院上海光学精密机械研究所, 副研究员 2013-07~2015-08,中国科学院上海光学精密机械研究所, 助理研究员 专利成果 ( 1 ) Multi field points wavefront aberration parallel measurement setup and method for lithography projection optics, 发明, 2015, 第 1 作者, 专利号: US No.14984577 ( 2 ) Digital phase shfting lateral shearing interferometer and wavefront aberration metrology method for optial system, 发明, 2015, 第 1 作者, 专利号: PCT/ CN 2015/080419 ( 3 ) Digital phase shifting point diffraction interferometer and wavefront aberration metrology method for optical system, 发明, 2015, 第 1 作者, 专利号: PCT/CN 2015/080420 ( 4 ) 数字相移横向剪切干涉仪及光学系统波像差测量方法, 发明, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201510216017.5 ( 5 ) 数字相移点衍射干涉仪及光学系统波像差测量方法, 发明, 2015, 第 1 作者, 专利号: 201510256096.2 ( 6 ) 一种高精度、高空间分辨率的横向剪切干涉波前测量方法, 发明, 2015, 第 1 作者, 专利号: 201510435697.X ( 7 ) 光刻机投影物镜多视场点波像差并行检测装置与检测方法, 发明, 2015, 第 1 作者, 专利号: 201510757427.0 ( 8 ) 施瓦茨光学系统波像差测量方法, 发明, 2014, 第 1 作者, 专利号: ZL201410455642.0 ( 9 ) 一种基于横向剪切干涉结构的成像系统像差测量方法, 发明, 2012, 第 1 作者, 专利号: ZL201210337416.3 ( 10 ) 一种基于横向剪切干涉结构的成像系统像差测量方法, 发明, 2012, 第 1 作者, 专利号: ZL201210337416.3 ( 11 ) 一种基于横向剪切干涉结构的成像系统像差测量方法, 发明, 2012, 第 1 作者, 专利号: ZL201210337416.3 ( 12 ) 一种基于横向剪切干涉结构的光学元件面形测量方法, 发明, 2012, 第 1 作者, 专利号: ZL201210356681.6 ( 13 ) 一种基于粒子群优化算法的晶圆曝光路径优化方法, 发明, 2017, 第 2 作者, 专利号: 201710229617.4 ( 14 ) 一种大尺寸二维平面光栅栅距检测方法, 发明, 2016, 第 2 作者, 专利号: 201610675861.9 ( 15 ) 区域法重建遮拦波前的改进重建方法, 发明, 2015, 第 4 作者, 专利号: 201510191587.3 ( 16 ) 区域法重建遮拦波前的改进重建方法, 发明, 2015, 第 4 作者, 专利号: 201510191587.3 ( 17 ) 波前传感器及波前测量方法, 发明, 2015, 第 4 作者, 专利号: 201510398987.1 ( 18 ) 光栅剪切波像差检测干涉仪及其检测方法, 发明, 2014, 第 4 作者, 专利号: ZL201410406641 ( 19 ) 光栅剪切干涉仪波像差检测的系统误差的消除方法, 发明, 2013, 第 5 作者, 专利号: ZL201310646820.3 ( 20 ) 平面光学元件面形检测方法, 发明, 2012, 第 4 作者, 专利号: ZL201210289617.0 发表著作 (1) 剪切干涉术及其进展, 科学出版社, 2017-04, 第 3 作者 科研项目 ( 1 ) 光栅剪切干涉Zernike模式法重建精度优化方法研究, 主持, 国家级, 2015-01--2017-12 ( 2 ) 光栅剪切干涉区域法重建精度优化方法研究, 主持, 省级, 2014-07--2017-06

去登录