个人简介

招生方向 信息光电子技术,高端光刻机技术,光学精密检测技术 偏振技术、光谱技术 工作简历 1999-07~现在, 中国科学院上海光学精密机械研究所, 任职 奖励信息 （1） 中国电子学会科学技术奖, 二等奖, 部委级, 2016 专利成果 （ 1 ） 四通道时分复用大气偏振检测方法与系统, 2011, 第 2 作者, 专利号: 201010215238.8 （ 2 ） 全光纤大范围位移测量仪, 2001, 第 2 作者, 专利号: ZL01126555.8 （ 3 ） 半导体激光器光频光强调制器, 2002, 第 2 作者, 专利号: ZL02112080.3 （ 4 ） Optical System For Measurement Of Illumination Pupil Polarization State Of Mask Aligner, 2016, 第 3 作者, 专利号: WO2016155426A1 （ 5 ） 宽光谱大视场显微物镜光学系统, 2019, 第 2 作者, 专利号: CN201611044908.8 （ 6 ） 光刻投影物镜热像差的快速仿真方法, 2019, 第 4 作者, 专利号: ZL201810603730.9 （ 7 ） 一种基于粒子群优化算法的晶圆曝光路径规划方法, 2018, 第 3 作者, 专利号: ZL201710229617.4 科研项目 （ 1 ） 宽光谱大视场显微成像光学系统的研发, 主持, 国家级, 2011-01--2013-12 （ 2 ） XXXX, 参与, 国家级, 2009-07--2013-12 （ 3 ） XXX, 主持, 国家级, 2009-01--2010-12 （ 4 ） 光学材料与光学元件亚表面缺陷检测仪的研制, 主持, 省级, 2008-07--2010-07 （ 5 ） 实时纳米精度面形干涉测量仪, 参与, 省级, 2005-10--2007-12 （ 6 ） 90nm光刻机照明系统多参数检测技术研究, 主持, 国家级, 2009-07--2017-12 （ 7 ） 浸没式光刻机照明系统多参数检测装置, 主持, 国家级, 2016-01--2020-12 （ 8 ） 基于微区RS和LIBS的中药材残留化合物与重金属成份检测样机的研制, 主持, 省级, 2018-07--2020-06