高级工程师
周成刚
  • 所属院校:
    中国科学技术大学
  • 所属院系:
    微电子学院
  • 研究领域:
    微纳米加工检测技术与微电子、光电子、生命医疗等学科交叉领域应用,微纳米尺度加工制造及表征测试技术、芯片失效分析与检测、测试计量技术与仪器研制等。
  • 职称:
    高级工程师
  • 导师类型:
    硕导
  • 招生专业:
    --
个人简介

个人简介

经历: 2007年 中国科学技术大学测试计量技术与仪器专业博士学位 2007年-2010年 上海科学院集成电路制造装备研究中心 常务副主任 主持开展400nm无掩模光学光刻机的研制工作 2010-至今 中国科学技术大学先进技术研究院电子技术研发评测中心 主任

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