1987年毕业于复旦大学化学系,理学硕士。 长期从事MEMS/NEMS技术创新和应用研究,先后承担并完成了二十多项国家和省部级科研课题,包括国家863计划项目、自然科学基金课题,973子课题,预研,教育部重大培育和上海市科委发展基金课题等。 先后在国内外专业期刊和学术会议上发表学术论文200多篇,其中SCI收录论文150篇,在MEMS领域主流期刊Journal of Micromechanics and Microengineering上发表研究论文23篇,是近十年中国大陆学者在该刊论文发表数最多的个人。 先后申请专利一百多项,获得专利授权六十多项。 先后培养研究生七十多位,其中,博士研究生20名,硕士研究生54名。 2004年获 得上海市育才奖,2007年获上海市技术发明一等奖,2008年获得国家技术发明二等奖,2016年获得上海市技术发明一等奖。