所属院校:

清华大学

所属院系:

信息科学技术学院

研究领域:

在测试、氧化扩散、光刻、工艺设备、流程管理等方面具有多年实践经验，现从事工艺分析诊断、光刻工艺设备及工艺、VLSI自动化制造和CIMS系统等方面的研究，在工艺流程开发、自动流程卡生成、自动工艺调度等方面发表研究论文若干

职称:

副教授

导师类型:

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招生专业:

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