王喆垚,男,1972年出生于内蒙古,1990考入清华大学精密仪器系,1995年获学士学位。同年免试进入清华大学精密仪器系攻读博士学位,2000年获机械电子学专业工学博士学位。2000-2002年在清华大学微电子学研究所从事博士后研究,2002-2003年在荷兰Delft University of Technology微电子与亚微米技术研究所(Delft Institute of Microelectronics and Submicron Technology, DIMES)从事博士后研究,2003年底回国工作。2003年底任副教授,2008年底晋升为教授。先后从事RF MEMS、高频硅微加工器件,以及BioMEMS的研究。