助理研究员
穆海华
  • 所属院校:
    清华大学
  • 所属院系:
    机械工程学院
  • 研究领域:
    一直从事光刻装备超精密运动系统的纳米精度精密控制研究。主要研究兴趣在于纳米运动轨迹规划方法及其精度影响与控制、动态行为耦合及其精细化控制、基于前馈-反馈广义耦合的控制参数精细化标定。目前的研究兴趣正在向无振动运动轨迹规划设计准则、基于能量运动控制新型理论与方法的研究。
  • 职称:
    助理研究员
  • 导师类型:
    --
  • 招生专业:
    --
个人简介

个人简介

教育背景 2003.9~2007.6，华中科技大学机械电子工程，获博士学位 2000.9~2003.7，华中科技大学机械电子工程，获硕士学位 1996.9~2000.7，华中理工大学机械工程及自动化，获学士学位 工作履历 2007.12~2010.10，华中科技大学计算机学院，博士后 2010.10~至今，清华大学机械工程系机械电子研究所

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