所属院校:

清华大学

所属院系:

信息科学技术学院

研究领域:

(1)集成传感技术与器件 硅微型加速度计 硅集成压力传感器 集成磁场传感器 硅微流量计 (2)微电子机械系统(MEMS)

职称:

教授

导师类型:

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招生专业:

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