科研工作:
1982.7.—1983.8.,国营514厂工艺科,主管工艺员1986.4.—1992.9.,西北工业大学飞行器制造工程系,讲师 1992.9. ——1993.9.,法国国立高等微技术与机械学院(ENSMM),访问学者1993.9. —1998.11.,西北工业大学飞行器制造工程系,副教授1998.4. —1998.5.,香港城市大学制造与管理学系,访问学者1998.12.—至今,西北工业大学飞行器制造工程系、机电学院,教授、博士生导师;2002.5. —2002.8.,加拿大国家研究委员会(NRC ),高级访问学者;2006.8 —2008.8,西北工业大学机电学院微系统工程系,系主任;2007.1 —2009年12月,西北工业大学机电学院,教育部“长江学者”特聘教授;2011.3.—至今,西北工业大学机电学院/空天微纳系统教育部重点实验室,院长/主任。 教育部“长江学者”特聘教授,享受国务院政府特殊津贴。主要从事微机电系统以及微纳制造方面的研究,留法回国后主持创建了“微机电系统与纳米技术”国防重点学科和“陕西省微/纳米系统重点实验室”,“空天微/纳系统教育部重点实验室”。现为“机械电子工程”国家重点学科带头人,教育部创新团队带头人。 主要研究方向包括:(1)微系统及其相关技术流动测微纳器件与系统微惯性元器件及系统技术光学微机电系统能源微机电系统(2)微机电系统集成设计与制造技术微机电系统集成设计及工具技术微机电系统制造技术(3)生物/纳米机电系统技术生物微机电系统技术仿生微纳结构技术。主持国家自然科学基金项目、863计划重点项目以及国防基础研究计划重点项目等30余项。获国家技术发明二等奖2项,国家级教学成果一等奖奖1项,获授权发明专利40项。出版专著2部,教材3部,其中《微机械与微细加工技术》被评为教育部研究生推荐教材。在国内外学术刊物上发表论文SCI/EI索引论文200余篇。