研究员
王鹏飞
  • 所属院校:
    复旦大学
  • 所属院系:
    信息科学与工程学院
  • 研究领域:
    微电子器件设计和集成电路工艺
  • 职称:
    研究员
  • 导师类型:
    博导
  • 招生专业:
    微电子学与固体电子学
个人简介

科研工作:

1.U形沟道隧穿场效应晶体管2.新型双金属浮栅(DMFG)存储器3.铪基、锆基高k栅介质材料及其原子层淀积关键制备技术

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