教授
张卫
  • 所属院校:
    复旦大学
  • 所属院系:
    信息科学与工程学院
  • 研究领域:
    集成电路工艺,半导体材料,薄膜技术
  • 职称:
    教授
  • 导师类型:
    博导
  • 招生专业:
    微电子学与固体电子学
个人简介

科研工作:

1.超大规模集成电路中低介电带数介质与铜的相互作用2.新型材料制备的现代热力学研究3.超大规模集成电路中的低介电常数介质4.金刚石低压气相生长的热力学研究

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