教授
张卫
所属院校:
复旦大学
所属院系:
信息科学与工程学院
研究领域:
集成电路工艺,半导体材料,薄膜技术
职称:
教授
导师类型:
博导
招生专业:
微电子学与固体电子学
个人简介
科研工作:
1.超大规模集成电路中低介电带数介质与铜的相互作用2.新型材料制备的现代热力学研究3.超大规模集成电路中的低介电常数介质4.金刚石低压气相生长的热力学研究
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