教授
屈新萍
  • 所属院校:
    复旦大学
  • 所属院系:
    信息科学与工程学院
  • 研究领域:
    新型互连技术、新型纳米压印技术及应用和性能研究、纳米尺度薄膜及器件研究
  • 职称:
    教授
  • 导师类型:
    博导
  • 招生专业:
    微电子学与固体电子学
个人简介

科研工作:

1.新型纳米压印技术及开发、先进互连材料和概念研究2.新型铜互连扩散阻挡层研究3.新型互连及其基础问题研究4.原子层淀积新型超薄铜互连扩散阻挡层研究

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