教授
屈新萍
所属院校:
复旦大学
所属院系:
信息科学与工程学院
研究领域:
新型互连技术、新型纳米压印技术及应用和性能研究、纳米尺度薄膜及器件研究
职称:
教授
导师类型:
博导
招生专业:
微电子学与固体电子学
个人简介
科研工作:
1.新型纳米压印技术及开发、先进互连材料和概念研究2.新型铜互连扩散阻挡层研究3.新型互连及其基础问题研究4.原子层淀积新型超薄铜互连扩散阻挡层研究
以上内容源自网络公开信息,仅作学术交流之目的,非为商业用途。
如若涉及侵权事宜,请及时与我们联络,我们将即刻修正或删除相关内容。
联系方式:+86 191 9534 4490。
去登录