教授
陈宜方
  • 所属院校:
    复旦大学
  • 所属院系:
    信息科学与工程学院
  • 研究领域:
    一、纳米技术 1.纳米光刻(Nanolithography):高分辨率电子束光刻(Highresolutionelectronbeamlithography)纳米压印光刻(Nanoimprintlithography)卷对卷微纳滚动热压印(MicroNanoroll-to-rollembossing/printing)三维电子束灰度光刻技术(GreyscaleEB-lithographyfor3Dprofile)Stencil光刻(Stencillithography)St...
  • 职称:
    教授
  • 导师类型:
    博导
  • 招生专业:
    --
个人简介

个人简介

学习工作经历 1995 英国牛津大学Clarendon Laboratory凝聚态物理系 理学博士 1985 中科院上海技术物理研究所半导体器件物理与工艺 理学硕士 1982 上海复旦大学物理系电子物理专业 理学学士 授课情况 研究生专业选修课:纳米技术与应用

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