张钰如,1987年生,大连理工大学星海骨干,中国博士后基金特别资助获得者。2013年12月,分别获得大连理工大学及比利时安特卫普大学授予的理学双博士学位。2014年1月留校任教至今,2015-2016年在比利时安特卫普大学做博士后。 2009年起,主要采用自主开发的流体模型、流体/蒙卡混合模型、流体/鞘层混合模型、整体/鞘层混合模型,及COMSOL软件,系统研究容性耦合等离子体放电特性、感性耦合等离子体放电特性、等离子体鞘层特性、电磁效应、等离子体催化中的微放电等(研究内容见“科学研究-研究领域”项),已在Applied Catalysis B, Plasma Sources Sci. Technol.及J. Phys. D: Appl. Phys.等国际核心期刊上发表论文40余篇(文章列表见“科学研究-论文成果”项),其中包含多篇JCR 一区文章,单篇论文最高影响因子为16.683。参与开发并集成出国内首款具有自主知识产权的等离子体源多场耦合仿真平台MAPS,可以实现对多种等离子体源放电过程的模拟,并获得多项软件著作权。目前,作为项目负责人,先后主持国家自然科学基金面上项目、青年基金项目,中国博士后科学基金特别资助项目、面上项目,及两项企业间的横向项目(项目列表见“科学研究-科研项目”项)。另外,作为主要参与人,参与了国家重大科技专项一项,国际科技合作一项,及多项国家自然科学基金重点项目和面上项目。与沈阳拓荆科技有限公司、北京北方华创微电子装备有限公司、比利时安特卫普大学Bogaerts教授、德国波鸿鲁尔大学的Julian Schulze博士等,均保持密切的合作关系。 欢迎各位对等离子体模拟感兴趣的同学,联系我 课题组网站:http://pseg.dlut.edu.cn 教育经历 Education Background 2009.92014.1大连理工大学等离子体物理博士 2005.92009.7大连理工大学光信息科学与技术学士 工作经历 Work Experience 2014.1至今大连理工大学物理学院讲师 著作成果 数学物理方法 数学物理方法 科研项目 面向工业等离子体源的一些关键科学问题的研究, 国家自然科学基金, 2019/08/16, 进行 离子跨膜输运, JW创新特区, 2019/07/29, 进行 3DHTM等离子体仿真, 2017/07/10-2017/11/01, 完成 甚高频放电中电非对称效应与电磁效应相互作用的研究, 中国博士后科学基金, 2015/07/03-2017/03/23, 完成 射频容性耦合等离子体放电中电非对称效应机理的研究, 国家自然科学基金, 2014/09/25-2017/12/31, 完成 脉冲调制射频电非对称容性放电的理论研究, 中国博士后科学基金, 2014/09/11-2017/03/22, 完成 CFETRN-NBI负离子源仿真优化设计及实验评估, 国家重点研发计划, 2017/07/01, 进行 高功率微波窗击穿诊断研究, 一般纵向, 2018/01/29, 进行 CO2 加氢还原体系滑动弧等离子体特性与化学动力学研究, 国家自然科学基金, 2017/08/17, 进行 二维纳米结构材料等离子激发的动力学模拟, 国家自然科学基金, 2017/08/17, 进行 面向刻蚀工艺的脉冲调制射频感应耦合等离子体源的特性研究, 国家自然科学基金, 2016/08/17, 进行 大功率低压射频感性耦合负氢离子源的物理基础研究, ITER计划, 2014/12/31, 进行 射频感应耦合等离子体对材料表面上原子再复合行为的影响, 国家自然科学基金, 2012/09/25, 完成 带有容性偏压的感性耦合放电的混合模拟方法及实验验证, 国家自然科学基金, 2018/08/16, 进行 感应耦合等离子源仿真模拟合作研究, 2017/04/27-2017/06/20, 完成 其他奖励 大连理工大学2016年青年教师讲课竞赛 (2016年)