个人简介

刘永新，1985 年生，国家优秀青年基金获得者，大连理工大学“星海杰青”。 2017.12-今， 大连理工大学 教授 2016.12-2017.12，大连理工大学 副教授 2016.03-2017.04，美国休斯顿大学 访问学者 2013.10-2016.12，大连理工大学 讲师 长期从事低气压射频等离子体的实验诊断与计算机模拟研究工作。在实验方面，自主搭建了多套射频等离子体源以及研制出多种诊断设备，并申请（授权）国内（外）发明专利9项；在计算机模拟方面，参与开发了中国第一款具有自主知识产权的多物理场耦合等离子体源仿真软件“MAPS”，填补了我国相关研究领域的空白。在此基础上，针对射频等离子体的一些前沿基础物理问题开展研究，在SCI 收录的国际学术期刊上发表论文近50 篇，其中第一/通讯作者论文20 篇（包括3篇Phys. Rev. Lett.、7篇Plasma Sources Sci. & Technol.、1篇Appl. Phys. Lett.），并取得了一些创新性的研究成果，如实验上首次观察到容性放电中的“电子反弹共振加热”现象、“辉光条纹”现象，以及“非线性驻波效应”等，以第一/通讯作者的身份，3项研究成果均发表在物理学顶级期刊Phys. Rev. Lett.上。这些研究成果不仅推动了国际上射频等离子体物理过程的研究，而且为实际半导体芯片制造工业中等离子体工艺过程的优化提供了科学参考。 在国内/国际重要学术会议上做大会邀请报告3次[包括第17届全国等离子体科学技术会议（>500人出席），第18届全国等离子体科学技术会议（>700人出席）和第1届亚太等离子体物理大会（>500人出席）]，做分会邀请报告7次，并多次担任分会主席。 2017年，获得亚太物理联合会颁发的重要奖项“DPP Young Research Award（青年科学家奖）”（应用等离子体领域唯一获奖人）。 2019年，获得全国等离子体科学技术大会―首届“青年创新奖”（全国仅3名）。 先后主持/参与科研项目10余项，包括： - 国家基金委优秀青年基金1项（主持）； - 国家自然科学基金面上项目1项（主持）； - 国家自然科学基金青年项目1项（主持）； - 国家自然科学基金重点项目2项（参与）； - 国家科技部重大科技专项1项（参与）； - 国际科技合作项目1项（主持）等。 目前与多个国家的著名学者保持着长期合作关系，比如德国波鸿鲁尔大学的Julian Schulze博士，匈牙利wigner物理所的Zoltan Donko研究员，比利时安特卫普大学的Annemie Bogaerts教授，休斯顿大学的D.J. Economou教授等。 所在团队与国内多家顶尖半导体设备公司在计算机模拟和实验诊断方面保持着长期合作关系，包括沈阳拓荆科技、北京北方华创、上海中微半导体等，目前已有若干名研究生陆续到企业进行实习以及获得稳定职位。 教育经历 2008.9 - 2013.10 大连理工大学 等离子体物理 博士 2004.9 - 2008.7 大连理工大学 应用物理 学士 2001.9 - 2004.7 辽宁省盖州市第一高级中学 专利 一种磁探针装置 一种用于实验教学的尘埃晶格观察和分析装置 一种用于测定等离子体中微量粒子浓度的吸收光谱装置 著作成果 近代物理实验（第二版） 科研项目 [1] 低气压射频容性耦合等离子体物理, 国家自然科学基金, 2017/08/17, 进行 [2] 脉冲调制甚高频大面积容性放电中的电磁效应研究, 中国博士后科学基金, 2015/07/03-2016/12/28, 完成 [3] 脉冲调制容性耦合等离子体的物理特性研究, 中国博士后科学基金, 2014/09/01-2016/12/28, 完成 [4] 低气压脉冲调制容性耦合等离子体特性研究, 国家自然科学基金, 2014/09/01-2017/12/31, 完成 [5] CFETRN-NBI负离子源仿真优化设计及实验评估, 国家重点研发计划, 2017/07/01, 进行 [6] 高功率微波窗击穿诊断研究, 一般纵向, 2018/01/29, 进行 [7] 脉冲调制等离子体增强原子层刻蚀多尺度研究, 国家自然科学基金, 2013/09/25-2017/12/31, 完成 [8] 射频感应耦合等离子体对材料表面上原子再复合行为的影响, 国家自然科学基金, 2012/09/25, 完成 [9] 低气压电负性射频容性放电的条纹不稳定性研究, 国家自然科学基金, 2018/08/16, 进行 学术荣誉 优秀青年基金获得者 其他奖励 2019全国等离子体科学技术会议优秀青年创新奖 2017大连理工大学星海杰青 2017DPP Young Research Award 2014大连理工大学星海骨干