Journal of Micro-Nanolithography MEMS and MOEMS

SCI期刊JCR分区

SCI期刊JCR分区等级：4区

按学科分区

MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY

OPTICS

NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY

ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC

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期刊简介

The Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS (JM3) publishes peer-reviewed papers on the science, development, and practice of lithographic, fabrication, packaging, and integration technologies necessary to address the needs of the electronics, microelectromechanical systems, micro-optoelectromechanical systems, and photonics industries.

出版信息

出版商

SPIE

期刊官网

http://www.spie.org/publications/journals/journal-of-micro/nanolithography-mems-and-moems

涉及的研究方向

ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC-NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY

刊期

Quarterly

出版国家或地区

UNITED STATES

是否OA

否

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3.2	0.368	1.089	学科大类学科：Engineering 小类学科：Mechanical Engineering 分区 Q2 学科大类学科：Engineering 小类学科：Electrical and Electronic Engineering 分区 Q2 学科大类学科：Engineering 小类学科：Atomic and Molecular Physics, and Optics 分区 Q2 学科大类学科：Engineering 小类学科：Condensed Matter Physics 分区 Q2 学科大类学科：Engineering 小类学科：Electronic, Optical and Magnetic Materials 分区 Q3