Journal of Vacuum Science and Technology B:Nanotechnology and Microelectronics
期刊ISSN：
2166-2746
E-ISSN：
2166-2754
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出版信息
出版商
AVS Science and Technology Society
涉及的研究方向
Materials Science-Materials Chemistry
是否OA
否
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| Cite Score | SJR | SNIP | 排名 |
|---|---|---|---|
| 3.1 | 0.42 | 0.636 |
学科
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小类学科：Electrical and Electronic Engineering
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大类学科：Engineering
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